在粉體加工領域,有一道永恒的難題:如何在精準去除“有害粗粒"的同時,最大限度地保留“有效細粉"?
傳統兩出口旋流器只能將物料粗暴地切分為“粗"與“細"兩段。而大量處于中間粒徑的“有效顆粒",要么隨粗粒沉降變成廢渣,要么隨溢流流失為廢液——高價值原料的浪費,往往從分級這一步就已注定。
日本村田工業(MURATA)TR系列三液分級旋流器,以獨1有的雙重管三出口結構,打破傳統“一分為二"的局限,實現粗粒、中粒、微粒的三相精準分離。這一技術革新,正在鋰電池、半導體、精密陶瓷、碳酸鈣四大高壁壘領域,為客戶創造著精度提升、收率增加、成本下降的實際價值。
鋰電池正極材料(NCM、NCA、LFP等前驅體)的粒徑一致性,直接決定了電池的倍率性能、循環壽命與安全性。然而,超細氧化物粉體(目標D50 < 2μm)在傳統分級中極易出現兩大問題:
粗粒夾細——少量大顆粒團聚體混入成品,導致涂布不均、內阻增大;
細粉流失——目標亞微米級顆粒隨溢流排出,造成高價值原料浪費。
推薦型號:TR5-1(研發驗證)/TR5-5(中試放大)
TR5系列的分級精度達到 D50 ≈ 1.7μm,與正極超細氧化物的目標粒徑高度匹配。其三液分級結構可實現:
| 出口 | 產物 | 處理方式 |
|---|---|---|
| 底流(粗) | >2μm 團聚體/大顆粒 | 返回研磨或廢棄 |
| 中流(目標) | 0.5~2μm 有效粉體 | 直接收集為成品 |
| 溢流(細) | <0.5μm 超細微粉 | 視工藝回收或排放 |
材質保障: 關鍵旋流元件采用碳化硅材質,可耐受高硬度氧化物漿料的長周期磨損,同時避免金屬雜質污染正極材料——這對電池安全至關重要。
流量適配: TR5-1(約4 L/min)適合配方驗證與品質抽檢;TR5-5(約20 L/min)可實現從小試到中試的無縫放大。
正極材料粒徑分布 CV值(變異系數)降低30%以上;
有效目標粉體 收率提升15~25%,大幅降低前驅體綜合成本;
碳化硅材質確保 無金屬異物引入,守護電池安全底線。
晶圓CMP工藝中,氧化鈰、二氧化硅等拋光液價格昂貴(部分高1端產品單價超 5000元/升),傳統工藝多為“單次使用后即廢棄"。更關鍵的是,拋光過程中因機械破碎或團聚產生的大顆粒雜質(>2μm) 會直接劃傷晶圓表面,導致芯片良率驟降。
傳統過濾方式無法在亞微米級別上實現“精準去除有害粗粒、完整保留有效砥粒"的選擇性分離。
推薦型號:TR5-1(先進制程超精細CMP)/TR10-1(通用精密CMP回收)
TR系列的三液分級結構,恰好滿足CMP回收的嚴苛要求:
底流排出——>2μm 的大顆粒雜質(硅屑、研磨墊碎屑、團聚體);
中流回收——0.5~2μm 的有效砥粒(氧化鈰/二氧化硅),完整保留活性;
溢流排出——<0.5μm 的超細微粒(已喪失切削力)。
材質純度保障: 核心旋流元件采用高純度氧化鋁陶瓷或碳化硅,無金屬溶出,滿足半導體行業對痕量金屬污染的 PPB級 要求。
選型建議: TR5-1精度最高(D50=1.7μm),適用于12英寸先進制程(7nm/5nm)的氧化鈰拋光液回收;TR10-1(D50=3.1μm)兼顧精度與流量,適用于8英寸成熟制程的硅溶膠拋光液回收。
良品回收率:50%~80%(視具體漿料與工藝而定);
新液采購量減少約60%,廢液排放降低50%以上;
經日本某12英寸晶圓廠驗證,單條產線年節省CMP耗材成本超200萬元人民幣;
實現綠色制造與降本增效的雙贏。
精密陶瓷(氧化鋁、氧化鋯、氮化硅等)漿料中的大顆粒硬質雜質或團聚體,在燒結后將成為“應力集中點"或“氣孔源",嚴重損害陶瓷基板、結構件、電子陶瓷元器件的機械強度、絕緣性能與尺寸精度。
除雜的關鍵矛盾在于:必須去除所有大于目標粒徑的“有害粗粒",同時盡可能保留有效細粉,避免過度損失。
推薦型號:TR10-1(通用型陶瓷除雜)/TR5-1(高精度陶瓷除雜)
TR系列三液分級結構可實現 “除雜+回收"并行:
| 出口 | 產物 | 處理方式 |
|---|---|---|
| 底流(粗) | >3μm 硬質雜質/團聚體 | 廢棄 |
| 中流(產品) | ≤3μm 高純度有效粉體 | 收集為成品 |
| 溢流(細) | 超細微粉 | 視工藝需求處理 |
TR10-1分級點D50≈3.1μm,可設定為“去除所有 >3μm 的大顆粒",同時完整保留微米級有效粉體;
對于要求更高的超細氧化鋁/氧化鋯陶瓷,TR5-1可實現D50≈1.7μm的更嚴苛除雜標準;
材質方面,TR10-1可選用陶瓷或尼龍旋流元件:陶瓷材質耐高硬度漿料磨損,尼龍材質則在成本與耐磨性間取得平衡。
有效去除 >3μm(或 >1.7μm)的 全部有害粗粒,燒結缺陷率 降低50%~80%;
有效細粉保留率 >90%,避免原料浪費;
陶瓷制品的 抗彎強度與絕緣擊穿電壓 顯著提升。
碳酸鈣作為全球用量最大的無機填料,其粒徑分布直接影響下游塑料、涂料、造紙、密封膠等產品的白度、遮蓋力、分散性與光澤度。亞微米級(<2μm)碳酸鈣的售價可達普通微米級產品的 3~5倍。
然而,傳統分級設備無法將微米級與亞微米級碳酸鈣精準分離,導致產品“粗細混雜"——高附加值無法兌現,低端市場又面臨價格戰。
推薦型號:TR5-1(超細碳酸鈣)/TR10-1(常規精細碳酸鈣)
TR系列的三液分級結構,能同步產出三種不同粒徑規格的碳酸鈣產品:
| 出口 | 產物規格 | 市場定位 | 相對售價 |
|---|---|---|---|
| 底流(粗) | >3μm 普通碳酸鈣 | 塑料填料/建材 | 1x |
| 中流(目標) | 1~3μm 精細碳酸鈣 | 涂料/密封膠 | 3x |
| 溢流(細) | <1μm 亞微米級碳酸鈣 | 高1端油墨/電子級 | 5x |
中粒循環提升收率: 三液分級特1有的“中粒回流再分級"功能,可將中間粒徑物料循環處理,顯著降低超細碳酸鈣生產中的“夾帶損失",提升目標細粉的綜合收率。
TR5-1(4 L/min)適合高價值亞微米級碳酸鈣的小批量精細化生產;
TR10-1(12 L/min)流量更大,適用于常規精細碳酸鈣的研發與小批量產線。
一機三品,同步產出三種不同規格產品,實現產品線延伸與綜合效益最1大化;
目標亞微米級產品的 純度與粒徑集中度大幅提升,售價可達普通產品的 3~5倍;
中粒循環設計使 綜合收率提升20%以上,減少無效物料的浪費。
| 核心優勢 | 技術內涵 |
|---|---|
| 三液分級技術 | 雙重管三出口結構,實現粗/中/細三相精準分離,杜絕“一刀切"式分級 |
| 亞微米級精度 | TR5系列 D50≈1.7μm,TR10系列 D50≈3.1μm,覆蓋主要精細分級需求 |
| 高純耐磨材質 | 碳化硅/高純氧化鋁陶瓷/尼龍可選,無金屬污染,耐受高硬度漿料 |
| 穩定易操作 | 工作壓力約0.6 MPa,窗口寬、容錯率高,易于自動化集成 |
| 工藝放大無縫銜接 | TR5-1→TR5-5 精度完1全一致,流量線性放大,解決“研發到量產精度漂移"難題 |
| 應用場景 | 推薦型號 | 分級精度(D50) | 單臺流量 | 核心價值 |
|---|---|---|---|---|
| 鋰電池正極超細氧化物 | TR5-1 / TR5-5 | 1.7μm | 4 / 20 L/min | 粒徑一致性好,收率+15~25%,無金屬污染 |
| 半導體CMP拋光液回收 | TR5-1(先進)/ TR10-1(通用) | 1.7 / 3.1μm | 4 / 12 L/min | 回收率50~80%,降本60%,PPB級純度 |
| 精密陶瓷漿料除雜 | TR10-1 / TR5-1 | 1.7 / 3.1μm | 4 / 12 L/min | 缺陷率-50~80%,有效粉體保留>90% |
| 碳酸鈣亞微米分級 | TR5-1 / TR10-1 | 1.7 / 3.1μm | 4 / 12 L/min | 一機三品,綜合收率+20%,售價3~5倍 |
無論是研發階段的工藝探索,還是嚴苛的量產交付,村田工業TR系列都能為您提供 “精度可視、收率可控、放大可行" 的完1美分級方案。
請您根據當前需求對號入座:
若您在尋找 < 2μm 的超細分級可能性 → TR5-1 / TR5-5
若您需要兼顧 3μm 分級點與更廣泛的物料類型 → TR10-1