從熒光激發(fā)到晶圓檢測：一臺FOLS-01，覆蓋全波段的“口袋光源實(shí)驗(yàn)室”

發(fā)布日期：2026-06-30      瀏覽次數(shù)：155

在精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)與工業(yè)檢測領(lǐng)域，光源往往是決定實(shí)驗(yàn)成敗或檢測精度的關(guān)鍵變量。然而，傳統(tǒng)光源設(shè)備要么體積龐大、占據(jù)實(shí)驗(yàn)臺面，要么波長單一、難以覆蓋多樣化需求，要么存在激光散斑干擾成像質(zhì)量。FOLS-01超小型光纖輸出LED光源的出現(xiàn)，試圖用一種全新的產(chǎn)品哲學(xué)來回應(yīng)這些痛點(diǎn)——將“全波段光源實(shí)驗(yàn)室"裝進(jìn)50×40×70mm、200g的機(jī)身之中，實(shí)現(xiàn)從紫外熒光激發(fā)到紅外晶圓檢測的跨場景覆蓋。

從UV到IR：一臺設(shè)備走通“全波段"

FOLS-01最核心的產(chǎn)品特征，是其覆蓋紫外（UV）、可見光（VIS）到紅外（IR）的寬光譜可選能力。根據(jù)官1方規(guī)格，該產(chǎn)品提供從紫外310nm到紅外1650nm的多種波長選擇，涵蓋白光、紫外（365nm、385nm）、藍(lán)紫（405nm）、藍(lán)（450nm、465nm）、綠（520nm）、黃（597nm）、琥珀（624nm）、紅（640nm）、深紅（760nm）、近紅外（860nm、950nm）及紅外（1200nm、1300nm、1550nm、1650nm）等多個波段。這種波長覆蓋廣度，使一臺設(shè)備即可適配熒光激發(fā)、光譜分析、光學(xué)傳感等多種實(shí)驗(yàn)需求，無需為不同波段準(zhǔn)備多臺專用光源。

在產(chǎn)品形態(tài)上，F(xiàn)OLS-01集成了輸出光纖、LED元件、驅(qū)動電路和電源，用戶只需打開電源即可從光纖端獲得LED光輸出。這種“通電即用"的便捷性，配合其手掌級別的尺寸，使其成為實(shí)驗(yàn)室桌面和現(xiàn)場檢測場景中可靈活部署的光源工具。

應(yīng)用場景一：熒光激發(fā)——從實(shí)驗(yàn)室到工業(yè)檢測

熒光激發(fā)是FOLS-01明確列出的核心應(yīng)用之一。在生命科學(xué)和材料科學(xué)領(lǐng)域，特定波長的激發(fā)光用于誘導(dǎo)樣品產(chǎn)生熒光信號，進(jìn)而通過顯微成像或光譜分析獲取結(jié)構(gòu)和成分信息。

紫外和藍(lán)紫波段（如365nm、405nm、450nm）的LED光在熒光實(shí)驗(yàn)中具有實(shí)用價值。相較于激光，LED光源的優(yōu)勢在于無散斑和無干涉條紋——這一特性在熒光成像中可以避免因照明不均勻造成的圖像偽影，提升成像質(zhì)量。FOLS-01的LED光源特性使其成為傳統(tǒng)激光光源在熒光激發(fā)場景中的替代選項(xiàng)，尤其在需要避免散斑干擾的精密成像實(shí)驗(yàn)中。

應(yīng)用場景二：晶圓檢測——紅外波段的新價值

FOLS-01在晶圓檢測場景中的應(yīng)用潛力，在其列出的“各種光學(xué)傳感"和“光探測器和元件評價"等應(yīng)用方向上有所體現(xiàn)。而在半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域，紅外波段光源正成為晶圓缺陷檢測的重要工具。

以碳化硅（SiC）外延片檢測為例，紅外熒光場成像已被用于識別基面位錯（BPD）、堆疊層錯（SF）等晶體缺陷。這類檢測通常需要紅外波段的激發(fā)光源來誘導(dǎo)特定缺陷的熒光信號。FOLS-01提供的860nm、950nm乃至1300nm的紅外波長選項(xiàng)，理論上可以適配此類半導(dǎo)體材料缺陷檢測的光源需求。同時，其600μm芯徑光纖可提供毫瓦級輸出（紅外波段約0.5mW~15mW），而200μm芯徑光纖則可輸出微小光束，適用于對晶圓表面微區(qū)進(jìn)行定點(diǎn)照明檢測。

關(guān)鍵設(shè)計參數(shù)如何支撐“全波段實(shí)驗(yàn)室"定位

從工程實(shí)現(xiàn)角度看，F(xiàn)OLS-01的“實(shí)驗(yàn)室"能力還體現(xiàn)在以下可量化的設(shè)計細(xì)節(jié)上：

設(shè)計維度	參數(shù)規(guī)格	對應(yīng)“實(shí)驗(yàn)室"能力
波長選擇	310nm~1650nm，超過15種波長可選	覆蓋紫外、可見、紅外，適配不同實(shí)驗(yàn)需求
光纖輸出	600μm芯徑（高輸出）或200μm芯徑（微小光束），NA0.5	根據(jù)功率和光斑需求靈活切換
頻閃觸發(fā)	TTL外部觸發(fā)輸入，最大重復(fù)頻率~1kHz	支持同步頻閃照明，適配自動化檢測系統(tǒng)
功率穩(wěn)定性	強(qiáng)制風(fēng)冷控溫	保障長時間運(yùn)行的輸出穩(wěn)定
無散斑特性	LED光源，無干涉條紋	避免光學(xué)偽影，提升成像和測量精度

“口袋光源實(shí)驗(yàn)室"的邊界與現(xiàn)實(shí)

需要客觀指出的是，“口袋光源實(shí)驗(yàn)室"的定位更多體現(xiàn)在功能集成度和便攜性維度，而非絕對性能的全面對標(biāo)。FOLS-01的輸出功率為毫瓦級（600μm芯徑條件下，視波長不同為0.5mW~50mW），與大型高功率激光器或?qū)Ｓ霉I(yè)面光源在功率密度上存在量級差異。因此，其最佳應(yīng)用場景是對光源品質(zhì)（無散斑）、波長靈活性和空間效率要求優(yōu)先于絕對亮度的領(lǐng)域。

結(jié)語

FOLS-01以50×40×70mm、200g的物理形態(tài)，將紫外到紅外的寬光譜可選能力、無散斑的光源品質(zhì)、TTL頻閃觸發(fā)的同步功能整合為“通電即用"的單機(jī)解決方案。它并非試圖替代所有大型光源，而是在“便攜化、集成化、純凈光"這個垂直方向上，為熒光激發(fā)、無散斑光學(xué)測量、顯微鏡照明、光譜分析和晶圓檢測等場景提供了一個值得評估的新選項(xiàng)。一臺設(shè)備，從實(shí)驗(yàn)室的熒光顯微到半導(dǎo)體產(chǎn)線的晶圓缺陷識別，F(xiàn)OLS-01正在重新定義“全波段光源"的便攜邊界。