晶圓制程檢測
清洗后硅片表面 5~10μm 硅粉、微顆粒、細(xì)微劃痕、水漬殘留篩查;
傳送腔體、真空管道、機臺內(nèi)壁懸浮塵埃巡檢,提前規(guī)避光刻短路、晶圓報廢;
UV 截止模式屏蔽短波紫外,檢測光刻膠、光阻基板不損傷光敏涂層,解決普通紫外燈傷基板痛點。
芯片封裝環(huán)節(jié)
封裝外殼裂痕、引腳間隙異物、塑封內(nèi)部粉塵、金線污漬可視化,批量降低封裝不良率;
FPD 液晶 / OLED 面板
玻璃基板、偏光片、背光模組隱形粉塵、膠漬、油污檢測,杜絕屏幕亮點、黑點缺陷。
極片涂布表面粉塵、金屬碎屑、涂布劃痕排查;
電芯封裝、鋁塑膜內(nèi)壁油污、熒光殘留檢測;
無塵車間潔凈度日常巡檢,快速定位空氣中懸浮微米級顆粒,管控極片短路風(fēng)險。
藥瓶、注射器、藥用注塑件內(nèi)壁微塵、脫模劑殘留檢測;
A 級無菌潔凈區(qū)墻面、設(shè)備、管道清潔驗證;
UV 模式激發(fā)潤滑油、有機熒光污染物,識別肉眼不可見微量污染,保障藥品無菌標(biāo)準(zhǔn)。
鏡頭、鏡片鍍膜前表面微塵、劃痕、指紋油污預(yù)檢;
PCB 線路板焊點間隙助焊劑殘留、微小金屬碎屑;
航天復(fù)合材料表面微裂紋、夾層雜質(zhì)篩查;
光學(xué)鏡頭、棱鏡、導(dǎo)光組件潔凈度驗收。
車間空氣懸浮塵埃動態(tài)檢測(廷德爾效應(yīng)可視化 10μm 懸浮顆粒);
無塵服、手套、周轉(zhuǎn)盒、治具清潔度抽檢;
設(shè)備內(nèi)部死角、風(fēng)道、過濾系統(tǒng)漏塵排查;
現(xiàn)場員工培訓(xùn),直觀展示污染源,優(yōu)化車間潔凈管控流程。
35W HID 氙氣光源,3400lm 超高亮度,照度為常規(guī) LED 檢查燈 3 倍;
檢測極限:表面附著5μm 顆粒清晰顯像,空氣懸浮 10μm 微粒可肉眼識別,普通 LED 僅能看清 50μm 以上雜質(zhì);
平行光路 + 暗場散射光學(xué)設(shè)計,光線集中度>90%,光斑邊緣衰減<5%,遠(yuǎn)距離檢測無散光干擾,細(xì)微顆粒對比度極1強;
光譜覆蓋全波段,搭配三款濾鏡實現(xiàn)一機三用:
| 濾鏡類型 | 適用場景 | 核心作用 |
|---|---|---|
| 標(biāo)準(zhǔn)綠光濾鏡(標(biāo)配) | 通用塵埃、劃痕檢測 | 555nm 人眼最敏感波段,長時間檢測不易視覺疲勞 |
| 365nm 紫外濾鏡(選配) | 油污、熒光粉塵、膠痕、有機殘留 | 激發(fā)隱性污染物熒光顯色,定位隱形污染 |
| UV 截止濾鏡(選配) | 光刻膠、液晶、光敏膜材 | 屏蔽<400nm 紫外,檢測不損傷光敏物料 |
整機防靜電處理,表面電阻<10?Ω,杜絕靜電吸附粉塵、擊穿芯片元器件;
機身低析出材質(zhì),無塑膠揮發(fā)、無掉屑,不會二次污染潔凈車間;
TÜV 認(rèn)證光源,10 萬小時光源壽命,連續(xù) 12 小時工作光衰<3%,適配產(chǎn)線 24h 不間斷巡檢。
燈頭僅 200g 輕量化設(shè)計,單手手持長時間作業(yè)不累;
內(nèi)置充電電池,無線獨立使用,無需固定電源,無需搭建暗室,線邊、機臺內(nèi)部、狹小腔體隨時檢測;
可調(diào)焦光斑,1 米工作距離光斑直徑 30cm,大范圍巡檢 + 局部精細(xì)檢測自由切換,設(shè)備夾縫、管道內(nèi)壁無檢測死角。
金屬加固機身,耐受車間輕微磕碰;強制風(fēng)冷散熱,長時間高亮工作無過熱;
強光可視化直觀展示缺陷,降低人工漏檢率,批量提升產(chǎn)品良率,減少返工報廢損失;
檢測結(jié)果直觀可見,可用于車間品質(zhì)培訓(xùn),全員識別污染源,優(yōu)化潔凈管控流程。
短板:HID 光源存在輕微運行噪音,燈泡有耗材更換成本,采購單價高于通用 LED 檢查燈;
選型適配:優(yōu)先選擇 NP-5 場景 —— 半導(dǎo)體晶圓、高1端面板、鋰電極片、無菌制藥、精密光學(xué)等5μm 級嚴(yán)苛潔凈管控產(chǎn)線;通用外觀瑕疵、大顆粒檢測可選普通 LED 檢查燈。