日本超越工業 HPS-1/2-P300P｜高純腐蝕性化學流體壓力監測優選傳感器

發布日期：2026-07-29      瀏覽次數：97

廠商：SURPASS INDUSTRY CO.,LTD（サーパス工業株式會社）
 
原廠地址：日本埼玉縣行田市
 
完整型號：HPS-1/2-P300P
 
系列歸屬：HP 系列（無顯示屏直型耐腐蝕壓力傳感器）
HPS系列傳感器外觀
 

一、型號編碼釋義

• HPS：HP 系列、無數字顯示型壓力傳感器

• 1/2：適配 Pillar 1/2 英寸 PFA 管道接頭（直型ストレート）

• P：接液材質 PFA+PTFE 氟樹脂、防氣體滲透結構

• 300P：量程 0～300kPa（表壓）

二、核心技術參數

1. 測量規格

    

   • 測量范圍：0～300 kPa 表壓

   • 耐壓：450 kPa（額定壓力 150%）

   • 破裂壓力：≥800kPa

   • 精度：±1% FS（25℃，線性 + 遲滯）

   • 溫度漂移：±0.08% FS/℃

2. 流體工況

    

   • 適用介質：高純藥液、強酸、強堿、有機溶劑、超純水、腐蝕性氣體

   • 流體溫度：15～80℃

   • 環境溫度：15～50℃

3. 電氣規格

    

   • 供電：DC 12～24V（±10%）

   • 標準輸出：4～20mA 模擬信號

   • 負載電阻：≤500Ω

   • 線纜：標準 2m PTFE 護套電纜

4. 材質與防護

    

   • 接液部：PFA/PTFE（全氟樹脂）

   • 外殼：ABS+PC

   • 防護等級：IP65

   • 認證：CE、RoHS 合規

5. 結構優勢

    

   • 原廠防氣體滲透隔膜結構（半導體藥液核心賣點，杜絕藥液氣相滲透造成傳感器漂移、失效）

   • 無金屬接觸流體，杜絕金屬離子析出污染高純流體

   • 小型直裝式，低死體積，適合緊湊管路安裝

三、產品核心特點

1. 全氟樹脂接液，廣譜耐化學腐蝕

    

   接觸介質全部采用 PFA/PTFE，可長期耐受鹽酸、硫酸、氫1氟酸、氨水、各類剝離液、顯影液、蝕刻液、有機溶劑，適配半導體、濕制程強腐蝕藥液。

2. 氣體滲透對策隔膜（SURPASS 獨1有技術）

    

   普通壓力傳感器隔膜易被藥液揮發性氣體穿透，造成零點漂移、傳感器報廢；HP 系列專用阻隔隔膜，抑制氣相滲透，大幅延長濕制程使用壽命。

3. 低析出、潔凈等級高

    

   氟樹脂材料無塑化劑析出，滿足高純化學品、超純水、精密電子制造潔凈要求，不會污染工藝流體。

4. 小型一體化直裝結構

    

   匹配行業通用 Pillar 1/2 英寸 PFA 管路系統，無需轉接配件，減少泄漏點；無顯示屏設計，體積更小，適合設備狹小空間布局。

5. 穩定模擬信號輸出

    

   4~20mA 工業標準信號，遠距離傳輸抗干擾，直接對接 PLC、記錄儀、壓力控制器。

區分：同系列HPSD為帶數顯版本；HPS為本款無顯示型，側重設備內置集成。

四、應用領域與工況分析

1. 半導體晶圓制造（主力場景）

• 濕清洗設備、蝕刻機、剝離機、顯影設備藥液管路壓力監測

• 化學品輸送支路壓力監控、過濾器壓差監測

   

  選型優勢：抗氫1氟酸、酸堿藥液，低粒子析出，防止藥液氣相滲透損壞傳感器，是日系半導體設備標配傳感器。

2. 光伏 / 鋰電濕法制程

• 制絨酸洗槽、電解液輸送管道、清洗純水回路壓力監控

• 耐腐蝕藥液供給系統穩壓監測

   

  痛點解決：避免普通不銹鋼傳感器被腐蝕、金屬離子污染電池 / 光伏基材。

3. 精細化工、制藥高純流體系統

• 反應釜加料管路、藥劑輸送、純化系統、溶劑循環管路壓力檢測

• 高純度原料藥輸送管線壓力閉環控制

4. PCB 電子制造

• 蝕刻液、棕化液、微蝕藥液循環管路壓力監測

5. 超純水 DIW 系統

純水循環管路、過濾器后端壓力監控，適配高潔凈純水工況。

五、工況選型注意事項（運用風險提示）

1. 溫度上限：流體不可長期超過 80℃，高溫藥液建議選用 HASP 高溫系列（最高 180℃）；

2. 沖擊壓力：啟停泵產生水錘沖擊，壓力不可持續超過 450kPa，必要前端加裝緩沖；

3. 介質禁忌：熔融堿金屬、液氟等強侵蝕介質不適用；

4. 安裝方向：建議隔膜朝下安裝，減少氣泡滯留影響測量精度；

5. 定期校準：腐蝕性藥液工況建議每 6~12 個月零點校準。

六、競品對比簡要分析

表格

項目	SURPASS HPS-1/2-P300P	普通國產 PTFE 壓力傳感器	歐美品牌氟樹脂傳感器
氣體滲透對策隔膜	?原廠標配	?大多無	部分高1端型號有，價格高
接液材質	PFA/PTFE 一體	部分 PTFE 粘接結構，易分層	PFA，成本昂貴
管路適配	日系 Pillar 1/2 標準接頭	非標居多	歐美管路標準，轉接麻煩
尺寸體積	小型緊湊，設備內置友好	體積偏大	體積大
交付	日本埼玉原廠制造	國內生產	歐美長交期