SXN 系列軟 X 射線離子發生器｜高潔凈制程無顆粒 ESD 靜電消除解決方案

發布日期：2026-08-17      瀏覽次數：29

品牌：日本 Motoyama（本山）SXN 系列軟 X 射線靜電消除離子發生器，屬于光電離式除靜電設備，面向超高潔凈無塵室，用于半導體、顯示面板精密制程 ESD 防護モトヤマ。


SXN系列整機

照射頭除靜電示意

一、工作原理

利用軟 X 射線管發射低能軟 X 射線，直接照射空氣，使空氣分子發生光電離，同步生成等量正、負離子；正負離子中和物體表面靜電，實現靜電消除。

• 不需要壓縮空氣、風扇吹氣；離子直接在被除靜電物體周邊生成，無氣流擾動產品。

• 區別傳統電暈放電離子風機：無放電針、無高壓火花、不產生金屬粉塵、零臭氧。

二、三款型號硬件配置 & 核心參數對比モトヤマ

表格

項目	SXN?10V	SXN?102V	SXN?104V
控制器	SXC?10T	SXC?102T	SXC?104T
照射頭	SXH?10V ×1 臺	SXH?10V ×2 臺	SXH?10V ×4 臺
輸入電源	AC100?240V 50/60Hz	AC100?240V 50/60Hz	AC100?240V 50/60Hz
整機功耗	23W	40W	50W
單照射頭重量	0.29kg	0.29kg	0.29kg
控制器重量	0.52kg	1.14kg	1.64kg
冷卻方式	自然冷卻	自然冷卻	自然冷卻
離子發生方式	軟 X 射線照射	軟 X 射線照射	軟 X 射線照射

說明：三個型號照射頭本體一致，差異僅為控制器可驅動照射頭數量；單頭照射角度 150°，可多照射頭組合覆蓋大面積工位。

三、產品核心特性

1. 離子平衡 ±0V

   軟 X 射線光電離天然生成等量正負離子，不會出現傳統電暈機的離子漂移、反向充電損傷器件，對高靈敏芯片、OLED 薄膜友好。

2. 超高潔凈，無二次污染

   無放電電極，不會析出金屬微粒；無臭氧生成，適配 Class1 級無塵室，杜絕顆粒吸附造成的產品不良。

3. 無氣流干擾

   不依靠風機 / 壓縮空氣輸送離子，不會吹動超薄薄膜、晶圓、薄片工件，適合真空腔體、小型機臺內部狹小空間安裝。

4. 高速除靜電

   ±1000V 衰減至 ±100V，近距離 0.5s 即可完成中和；距離增加除靜電時間隨之變長，最大有效工作距離約 1400mm。

5. 低維護設計

   無電極清潔、無針體更換；僅軟 X 射線管有使用壽命，設備自帶計時，壽命臨近自動報警提示更換 X 射線管，具備報警信號外部輸出接口，可對接產線 PLCモトヤマ。

6. 可在惰性氣體環境工作

   氮氣、氬氣氛圍腔體內部同樣可實現除靜電，適配半導體腔體工藝。

四、型號選型分析

1. SXN?10V（單頭）

   適合單點、小范圍工位：晶圓載臺、探針臺、小型模組組裝、機臺內部狹小腔室；單點局部除靜電，安裝靈活，體積小巧。

2. SXN?102V（雙頭）

   適合中等面積區域：基板搬運、中小型 OLED 玻璃、物料傳送軌道；雙照射頭可并排 / 錯位布置，擴大除靜電覆蓋范圍。

3. SXN?104V（四頭）

   適合大面積產線：大尺寸 LCD/OLED 基板、多工位同步除靜電；一臺控制器集中管控 4 個照射頭，減少控制器數量，降低布線與設備占用空間。

選型關鍵點：照射頭性能一樣，優先看需要覆蓋的除靜電區域面積；可以單控制器多頭部署，簡化產線控制。

五、主要應用領域

1. 半導體制造：晶圓光刻、蝕刻、離子注入、封裝測試，防止 ESD 擊穿芯片，避免微粒吸附晶圓表面造成缺陷濱松光子學...。

2. 顯示行業 LCD/OLED：玻璃基板搬運、偏光片貼合、柔性膜加工，薄膜不會被氣流擾動，消除靜電吸附灰塵造成亮點不良。

3. 精密電子：光學膜、FPC、PCB、傳感器組件生產。

4. 特殊腔體環境：氮氣置換腔、小型真空腔體內部靜電消除。

六、優勢與短板分析

?優勢

1. 潔凈等級遠高于電暈放電離子設備，零顆粒、零臭氧；

2. 離子平衡穩定，幾乎無反向充電風險；

3. 無氣流擾動，超薄 / 輕質工件制程不可替代；

4. 維護量極低，不用頻繁清洗電極；

5. 支持惰性氣體腔體內部使用。

??短板與使用限制

1. 軟 X 射線輻射風險：設備自帶屏蔽，但需要遵守輻射安全規范，設備外殼不可隨意拆除，人員不能長時間直接暴露照射窗口；需要做設備防護評估。

2. X 射線管屬于消耗件，達到壽命周期必須更換，存在耗材成本。

3. 除靜電效率隨距離衰減明顯，距離越遠中和速度下降，不能無限拉大工作距離。

4. 設備采購成本高于普通電暈離子風機。

七、和傳統電暈式離子發生器對比

表格

對比項	SXN 系列軟 X 射線離子發生器	普通電暈離子風機 / 離子棒
離子產生	軟 X 射線光電離	高壓放電電離空氣
臭氧	0ppm	產生臭氧
顆粒污染	無，無電極析出	放電針氧化析出金屬顆粒
離子平衡	固有 ±0V，長期穩定	隨電極老化漂移，需定期校準
氣流影響	無，不需要吹風	依靠氣流輸送離子，會吹動薄膜工件
維護	僅定期更換 X 射線管	每周清潔、定期更換放電針
適用潔凈等級	Class1 無塵室	Class1000 及以上

八、使用注意事項

1. 照射窗口不可遮擋，遮擋會大幅降低除靜電效果；

2. 嚴格控制照射距離，根據產品需求布局照射頭，不要超距離使用；

3. 不可拆除設備屏蔽殼體，安裝位置避開人員長期停留區域；

4. 利用報警輸出接入產線，X 射線管壽命到期及時更換，防止除靜電失效。