一臺覆蓋全真空區間｜日本 VISTA CC-10-NW25 一體式寬量程壓力真空計

發布日期：2026-08-04      瀏覽次數：66

一、開篇導語

在真空腔體運維、半導體制程、光學鍍膜、熱處理真空爐、科研實驗場景中，傳統方案需要搭配皮拉尼粗真空計、熱陰極1高真空規、大氣壓壓力開關多支儀表組合監測，管路開孔多、布線繁雜、多點校準成本高、燈絲易燒毀故障頻發。日本 VISTA 原裝 CC-10-NW25 寬量程復合真空計，采用水晶振子 + 冷陰極離子規一體化復合傳感結構，單一 KF-NW25 法蘭接口，實現1×10??Pa～1×10?Pa（大氣壓至超高真空）無斷點連續自動測量，整機集成顯示、繼電器控制點、模擬量與數字通訊輸出，一站式替代多規格真空儀表組合，是日系高1端真空設備標配級壓力監測核心部件，原廠持續量產供貨，無停產斷供風險，適配新設備配套、老舊真空設備改造升級兩大核心場景。

二、產品核心硬核優勢（CC-10-NW25 法蘭款）

1. 超寬量程無縫切換，單臺搞定全流程真空監測

摒棄分段式真空計組合方案，設備從腔體破真空、粗抽、高真空抽到超高真空維持全工序，無需手動切換傳感器。

• 大氣壓～1Pa 區間：高精度水晶振子傳感器，對比傳統皮拉尼、熱電偶真空計，溫漂更小、長期穩定性強，能大氣壓下讀數精準，完1美適配腔體充氣、破空閥聯鎖控制；

• 1Pa～10??Pa 超高真空區間：冷陰極離子規，無高溫燈絲結構，杜絕燈絲燒斷、氧化損耗問題，耐油污、耐沖擊、耐突發大氣沖擊，惡劣真空工況使用壽命遠超熱陰極規管。

  單一 NW25 真空接口接入腔體，即可完成全過程壓力采集，減少腔體開孔、密封泄漏隱患，大幅降低真空腔體加工成本。

2. 一體式集成設計，接線安裝極簡，節省機柜空間

整機傳感器、主控電路板、數碼顯示屏高度集成，僅需接入 DC24V 供電即可上電工作，開機自動識別真空區間、自動切換傳感模式、實時壓力數值直顯：

• 標配 3 路獨立繼電器設定點輸出：可直接聯動粗抽泵、分子泵、擋板閥、破空閥自動邏輯控制，無需額外加裝壓力控制器；

• 信號輸出齊全：0–10V 模擬量變送 + RS485 工業總線通訊，無縫對接 PLC、工控機、上位機數據采集；

• KF-NW25 標準快拆法蘭：真空行業通用法蘭規格，密封圈拆裝便捷，兼容絕大多數真空腔體、管道標準接口，改造替換即裝即用。

3. 堅固耐用，工況適應性拉滿，維護門檻極低

1. 冷陰極無燈絲結構核心優勢：無易損發熱燈絲，面對腔體輕微返大氣、工藝氣體雜質、油氣污染工況不易損壞，適合鍍膜機、真空燒結爐、釬焊爐等重工藝場景長期連續運行；

2. 可烘烤適配：拆除電控模組后，傳感腔體支持 150℃高溫烘烤除氣，滿足超高真空腔體潔凈工藝要求；

3. 免工具快速拆裝維護：傳感腔體 1 分鐘即可拆解清潔、除垢、更換密封件，現場工程師可自主完成保養，無需返廠維修，停機維護時間大幅壓縮；

4. 整機輕量化（不足 1kg），既可以固定腔體長期裝配，也可搭配電源適配器作為便攜式真空巡檢儀表使用，設備點檢、檢漏現場隨測隨用。

4. 數字化拓展能力，適配工業 IoT 智能化升級

選配原廠 DS-10 外置數顯表頭、P-LOGGER 壓力記錄軟件：

• 上位機實時壓力曲線繪制、真空抽氣曲線全程 CSV 存儲歸檔；

• 支持 16 臺 CC-10 組網集中監控，壓力異常超限郵件告警；

• 真空設備運行數據可視化，用于制程工藝復盤、設備健康狀態預判，適配半導體智能制造、自動化產線數字化改造需求。

5. 合規品質保障，日系原廠穩定供貨

整機通過 CE、RoHS 環保認證，日本 VISTA 原廠定型量產型號，米思米日本現貨常備，國內日系真空設備代理商穩定進口備貨，區別于停產老舊真空計無配件窘境，長期備件、技術資料、原廠 TDS 規格書完整可查，設備生命周期售后無憂。

三、核心技術規格（CC-10-NW25）

表格

項目	參數詳情
測量量程	1×10?? Pa ～ 1×10? Pa（大氣壓至超高真空全域）
傳感結構	水晶振子（粗真空段）+ 冷陰極離子規（高真空段）復合式
安裝法蘭	KF NW25 標準真空法蘭
供電電壓	DC24V
本地顯示	機身集成數碼壓力顯示屏
開關控制點	3 組可編程繼電器觸點
模擬輸出	0–10V DC 線性壓力輸出
數字通訊	RS485（Modbus 協議適配）
烘烤溫度	腔體最高 150℃（拆卸電路部分）
整機重量	約 0.95kg
執行標準	CE 認證、RoHS 合規

四、主流行業應用場景

1. 半導體晶圓制程設備

晶圓濺射、刻蝕腔體、真空清洗機、薄膜沉積設備腔體真空閉環監測，精準控制工藝真空閾值，保障鍍膜均勻性、良率穩定，依托 RS485 總線接入半導體設備上位機系統，實現工藝參數全鏈路追溯。

2. 光學真空鍍膜行業

手機鏡頭、光學鏡片、裝飾鍍膜、AR/VR 鏡片蒸鍍機，腔體破空、預抽、工藝真空分段聯鎖控制，冷陰極傳感器耐受鍍膜粉塵、蒸發氣體污染，減少規管頻繁更換成本。

3. 工業熱處理真空設備

真空釬焊爐、真空退火爐、燒結爐、滲碳真空爐，高溫爐膛全程壓力監控，繼電器直接聯動真空泵組啟停，避免爐膛氧化、脫碳報廢，適配高溫重載工業爐長期連續作業。

4. 科研實驗室與精密測試設備

超高真空實驗腔體、電子束設備、檢漏測試平臺、材料表征真空腔體，單儀表實現從大氣到超高真空全過程數據記錄，搭配數據記錄軟件完成實驗曲線留存。

5. 老舊真空設備技改替換

進口日系真空設備（ULVAC、ANELVA 等機型）老舊多支真空計改造，直接替換原有多點位傳感器，腔體只保留一處 NW25 接口，簡化管路、線路布局，降低設備故障率與備件庫存種類。

五、選型價值總結

1. 降本：1 臺 CC-10-NW25 替代粗真空計 + 高真空規 + 壓力開關 3 套儀表，硬件采購、腔體加工、布線成本直接縮減；

2. 增效：無燈絲易損件，維護周期延長 3–5 倍，快速拆裝保養減少產線停機；

3. 省心：全自動量程切換，無需人工干預壓力監測，聯鎖控制穩定可靠；

4. 適配廣：標準 NW25 法蘭 + 標準化信號輸出，新機配套、舊機改造雙向適配；

5. 供貨穩：原廠現役主力型號，無停產風險，長期備件與技術服務有保障。