半導體超純水保安過濾套裝，FTECH 濾芯濾殼適配性與性能介紹

發布日期：2026-08-05      瀏覽次數：102

日本 FTECH（フィルテック），日本精密折疊濾芯、濾殼專業廠商，主打半導體高純藥液、超純水、精細化工、電子化學品精密過濾，全部濾芯在無塵車間成型、熱熔粘接無膠水析出、出廠 100% 泡點 / 完整性檢測，適配高潔凈度工藝工況。
FTECH全系濾芯濾殼總成

FNGR濾芯+FSSA濾殼裝配圖
 

一、FNGR-005-18EK、FNGR-010-18EK 折疊式精密濾芯解析

1. 型號分段釋義（FTECH 命名規則）

型號分段	FNGR	005/010	18	EK
定義	折疊濾芯基礎系列	過濾精度：0.5μm / 1.0μm	濾芯長度 18 英寸	端部密封結構：222 翅片型 O 型圈（適配 FSSA 濾殼標準接口）

核心結論：

• FNGR-005-18EK：18 英寸折疊濾芯，絕對過濾精度0.5μm，222 翅片端頭密封

• FNGR-010-18EK：18 英寸折疊濾芯，絕對過濾精度1.0μm，222 翅片端頭密封

2. 核心結構與材質（設計）

1. 濾材主體：梯度層聚丙烯（PP）折疊濾材，熱熔熱封成型，無粘接劑，杜絕膠水溶出、纖維脫落，適配半導體、光刻膠、超純水等高純度流體過濾。

2. 梯度孔隙結構：外層大孔隙預截留雜質，內層精密篩分，納污容量提升 40%，壓差爬升慢、使用壽命更長。

3. 骨架結構：內外聚丙烯支撐籠，耐壓抗形變，可承受正向 / 小幅反向沖洗。

4. 端頭密封 EK：222 凸翅 O 型圈密封，和 FSSA 濾殼內腔刀口精準咬合，無側漏旁路，保障標稱過濾精度。

5. 外形尺寸：外徑 83mm（FTECH 大流量款，對比 70mm 濾芯過濾面積 + 150%），總長 18 英寸，匹配 FSSA-11N0A50 單芯濾殼安裝腔。

3. 關鍵性能參數（原廠標稱）

• 過濾精度：FNGR005=0.5μm（絕對精度）、FNGR010=1.0μm（絕對精度）

• 最高工作溫度：80℃（PP 材質）

• 最大工作壓力：0.4MPa（正向），允許 0.2MPa 反向沖洗

• 適配流體：超純水、IPA 異丙醇、光刻配套藥液、酸堿蝕刻液、清洗劑、純水制程

• 潔凈等級：無塵室生產，可直接用于 UPW 超純水終端、半導體濕制程前道過濾

4. 兩款濾芯定位差異 & 選型邏輯

1. FNGR-005-18EK（0.5μm）

    

   定位：終端精密終濾

    

   用于超純水終端、化學品精濾、光刻藥水末端保護、閥門 / 噴嘴前置防護，攔截細微膠體、樹脂顆粒、研磨碎屑，保護后端精密設備與晶圓良率。
2. FNGR-010-18EK（1.0μm）

    

   定位：前置保安預濾

    

   作為粗濾緩沖，攔截大顆粒雜質、管路鐵銹、絮凝物，保護后端 0.5μm 精密濾芯，降低高品質濾芯更換頻次，整體過濾系統運維成本下降。

5. 產品核心優勢

• 低析出：全熱熔結構，滿足半導體、制藥低 TOC、低離子析出要求；

• 大通量：83mm 大直徑褶皺結構，同等壓差下流量顯著優于普通熔噴濾芯；

• 完整性可控：出廠逐支泡點測試，精度一致性穩定，適合工藝連續性生產；

• 兼容通用性：222 端頭可直接替換 Pall、3M、日本無機同規格折疊濾芯。

二、FSSA-11N0A50 過濾器外殼（濾殼）解析

1. 型號拆解（FTECH 濾殼命名規則）

FSSA：單芯立式不銹鋼濾殼系列
 
11：適配濾芯長度規格（對應 18 英寸濾芯安裝位）
 
N：接口形式（NPT 內螺紋進出口）
 
0A：腔體結構（標準單芯直立腔體）
 
50：公稱進出口口徑 50A（2 寸管路接口）

2. 結構材質與工藝

1. 主體材質：SUS316L 不銹鋼，內腔電解拋光（Ra≤0.8μm），無1死角、易 CIP 在位清洗，耐酸堿腐蝕，適配電子化學品腐蝕性工況。

2. 密封配置：頂部翻蓋 V 型卡箍快開結構，配備 EPDM 標準密封圈，可選 FKM/Viton 氟橡膠適配強溶劑。

3. 功能接口：頂部排氣閥、底部排污閥、側壁壓力表取壓口，便于排氣、排污、壓差監測，判斷濾芯堵塞狀態。

4. 安裝適配：內腔刀口密封座，精準匹配 FNGR-EK 系列 222 翅片濾芯，濾芯豎直吊裝安裝，拆裝僅需松開頂部卡箍，維護便捷。

FSSA濾殼內部密封腔結構
 

3. 工況額定參數

• 設計壓力：1.0MPa，常規使用 0.3~0.6MPa

• 使用溫度：-10℃~90℃

• 適配濾芯：單支 18 英寸 83mm 外徑 222 端頭折疊濾芯（即 FNGR 兩款標配濾芯）

• 連接方式：進出口 2 寸 NPT 螺紋，可轉法蘭、衛生級卡盤

• 適用場景：單機獨立過濾支路、設備端機側過濾、小型產線過濾單元

4. 濾殼產品亮點

1. 潔凈腔體設計：電解拋光內壁無殘留死角，藥液無滯留，適合高純化學品連續生產；

2. 快開維護：V 型抱箍無需工具快速開蓋，濾芯更換時長縮短 60%；

3. 集成監測點位：預留壓力表接口，實時監測濾芯前后壓差，實現定壓差更換濾芯，避免過度更換或失效運行；

4. 耐化通用性：316L 殼體兼容酸、堿、醇類、酮類絕大多數電子制程溶劑。

三、整套總成（濾芯 + 濾殼）組合應用方案

1. 標準成套配置

前置預濾：FSSA-11N0A50 + FNGR-010-18EK（1μm）
 
后端精濾：FSSA-11N0A50 + FNGR-005-18EK（0.5μm）
 
兩級串聯構成完整保安過濾單元。

2. 主流應用場景

1. 半導體晶圓濕制程：刻蝕液、剝離液、顯影液、IPA 清洗液循環過濾；

2. 超純水 UPW 系統：RO 后端、EDI 終端拋光前保安過濾；

3. 面板顯示行業：光刻膠、顯影液、剝離劑循環過濾；

4. 精密電子清洗：工業清洗劑、去離子水終端過濾；

5. 精細化工 / 醫藥：高純溶劑、原料藥溶液精密過濾。

3. 成套使用價值

1. 原廠濾芯 + 濾殼匹配，密封零旁路，過濾精度 100% 發揮；

2. 梯度過濾延長精密濾芯壽命，降低耗材采購成本；

3. 不銹鋼濾殼可長期重復使用，僅定期更換內部濾芯，固定資產投入性價比高；

4. 潔凈構造適配無塵車間嚴苛生產環境，無二次污染風險。

四、競品對標與替換說明

1. 濾芯對標：Pall Profile II、3M Betapure、日本無機 NIPPON MUKI 折疊濾芯，同精度、同尺寸可直接互換；

2. 濾殼對標：Pall 單芯不銹鋼濾殼、Entegris 精密濾殼，FTECH 整套總成價格更具優勢，日系交期穩定；

3. 替換注意：如需替換其他品牌濾芯，必須選用 222 翅片端頭 18 英寸 83mm 外徑折疊濾芯，保證密封適配。

五、總結

FNGR-005-18EK（0.5μm 精濾）、FNGR-010-18EK（1.0μm 預濾）為 FTECH 經典大流量聚丙烯折疊濾芯，依托熱熔無析出、大納污量特性適配高品質潔凈流體過濾；FSSA-11N0A50 是專屬配套 316L 不銹鋼單芯濾殼，快開、易清洗、耐壓耐化。二者成套是半導體、電子化學品、超純水工藝成熟的緊湊型精密過濾解決方案，兼顧過濾穩定性、運維便捷性與長期使用成本優勢。